在线尘埃粒子计数器校准规范

在线尘埃粒子计数器的校准规范主要依据 GB/T6167-2007《尘埃粒子计数器性能试验方法》和 JJF1190-2008《尘埃粒子计数器校准规范》。具体内容如下：

• 校准条件
  • 环境要求：温度为 20±5℃，优先匹配设备工作温度 0-40℃范围；湿度为 30-60% RH，避免高湿导致标准粒子结块；校准环境需优于待测设备最大量程，如≤100 颗 /m³，粒径≥0.3μm。
  • 标准物质：标准粒子采用单分散聚苯乙烯乳胶球（PSL），粒径 0.5μm，允差 ±5%，浓度已知，建议为 3×10⁴-5×10⁴颗 / L。辅助仪器需经计量认证，温湿度计误差≤±1℃、±3% RH，气压计误差≤±1kPa。
  • 设备状态：完成自净，时间≤10min，确保光散射传感器腔体无残留颗粒；电源稳定，如 12V/3A 适配器，通讯模块正常连接。
• 校准项目与方法
  • 粒径分布误差校准：向设备注入 0.5μm 标准粒子，连续采样 3 次，单次采样量 2.83L，记录六通道（0.3、0.5、1.0、3.0、5.0、10.0μm）粒子数。0.5μm 通道计数占比应≥95%，其余通道占比≤5%，粒径分布误差≤±30%。
  • 粒子浓度示值误差校准：使用标准粒子发生器，产生浓度约 3×10⁴颗 / L 的 0.5μm 粒子流，设备连续采样 5 次，计算平均浓度值。示值误差 =（设备均值 – 标准浓度）/ 标准浓度 ×100%，应≤±30%。
  • 测量重复性校准：在相同条件下连续采样 10 次，单次采样量 2.83L，计算 0.5μm 通道浓度的相对标准偏差（RSD），RSD≤±10%。
  • 内置传感器校准：温湿度传感器对比设备显示值与第三方温湿度计，误差应≤±1℃、±5% RH；气压传感器与标准气压计对比，误差≤±2kPa。
  • 自动净化等级判定验证：模拟不同洁净度环境，如 Class 5、Class 7，注入对应浓度粒子，检查设备自动判定结果是否符合 ISO14644 或 GMP 标准。
• 校准周期与记录管理
  • 校准周期：日常验证每月检查粒径示值误差及重复性；全面校准每年由计量机构执行全项目校准，并出具证书。
  • 记录要求：保存原始数据，包括六通道粒子数、温湿度、报警触发记录等；校准结果需记录至设备内置存储，并导出备份。
• 校准结果处理
  • 合格判定：所有校准项目均符合技术参数要求，如粒径误差≤±30%。
  • 不合格处理：调整光散射传感器增益或更换激光光源，重新校准后仍不合格，需返厂维修并贴停用标识。